确定晶片坐标系规范

Specification for establishing a wafer coordinatesystem

GB/T 16596-1996推荐性国家标准

废止

GB/T 16596-1996 相似标准 第6页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态实施日期相似标准
YS/T 1703-2024晶片包装片盒表面颗粒的测试 液体颗粒计数法现行2025-05-01找相似
T/CECA 48-2021石英晶体微天平晶片现行2021-03-15——
T/IAWBS 021-2024碳化硅晶片边缘轮廓检验方法现行2024-04-09——
T/CECA 83-2023钽酸锂和铌酸锂还原单晶晶片 明度和色差技术要求及测量方法现行2023-06-20——
SJ/T 12093-2025晶片精密研磨盘现行2026-07-01找相似
GB/T 16857.6-2006产品几何技术规范(GPS) 坐标测量机的验收检测和复检检测 第6部分:计算高斯拟合要素的误差的评定现行2007-02-01找相似
GB/T 16857.4-2003产品几何量技术规范(GPS) 坐标测量机的验收检测和复检检测 第4部分: 在扫描模式下使用的坐标测量机现行2003-11-01找相似
GB/T 16857.3-2009产品几何技术规范(GPS) 坐标测量机的验收检测和复检检测 第3部分:配置转台的轴线为第四轴的坐标测量机现行2010-04-01找相似
GB/T 16857.5-2017产品几何技术规范(GPS) 坐标测量机的验收检测和复检检测 第5部分:使用单探针或多探针接触式探测系统的坐标测量机现行2018-05-01找相似
GB/T 16857.2-2017产品几何技术规范(GPS) 坐标测量机的验收检测和复检检测 第2部分: 用于测量线性尺寸的坐标测量机现行2018-05-01找相似
GB/T 16857.901-2020产品几何技术规范(GPS) 坐标测量机的验收检测和复检检测 第901部分:配置多影像探测系统的坐标测量机现行2020-10-01找相似
GB/T 16857.9-2022产品几何技术规范(GPS) 坐标测量系统(CMS)的验收检测和复检检测 第9部分:配备多种探测系统的坐标测量机现行2023-04-01找相似
GB/T 16857.10-2022产品几何技术规范(GPS) 坐标测量系统(CMS)的验收检测和复检检测 第10部分:激光跟踪仪现行2023-04-01找相似
GB/T 16857.7-2022产品几何技术规范(GPS) 坐标测量系统(CMS)的验收检测和复检检测 第7部分:配置影像探测系统的坐标测量机现行2023-04-01找相似
GB/T 16857.8-2022产品几何技术规范(GPS) 坐标测量系统(CMS)的验收检测和复检检测 第8部分:使用光学距离传感器的坐标测量机现行2023-04-01找相似
GB/T 16857.12-2022产品几何技术规范(GPS) 坐标测量系统(CMS)的验收检测和复检检测 第12部分:关节臂式坐标测量机现行2023-04-01找相似
GB/T 16857.1-2002产品几何量技术规范(GPS) 坐标测量机的验收检测和复检检测 第1部分:词汇现行2003-01-01找相似
CH/T 2014-2016大地测量控制点坐标转换技术规范现行2017-03-01找相似