主要技术内容
本文件规定了声表面波器件用钽酸锂(LT)和铌酸锂(LN)还原单晶晶片明度和色差的术语和定义、技术要求和测量方法。本文件适用于声表面波器件用LT和LN单面抛光还原单晶晶片的设计、制造与验收。本文件不适用于声表面波器件用LT和LN双面抛光还原单晶晶片。
Lithium tantalate and lithium niobate reduced single crystal wafers— technical requirements and measurement methods for lightness and color difference
现行
2023-06-13
2023-06-20
本文件规定了声表面波器件用钽酸锂(LT)和铌酸锂(LN)还原单晶晶片明度和色差的术语和定义、技术要求和测量方法。本文件适用于声表面波器件用LT和LN单面抛光还原单晶晶片的设计、制造与验收。本文件不适用于声表面波器件用LT和LN双面抛光还原单晶晶片。
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杨胜裕、枋明辉、黄辉、李勇、尹利君、雷顺京、田本郎、李辉、邹福松、刘建生、周禄雄、李红浪、朱锦锋、胡文、赵刚
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/QGCML 3320-2024 | 铁氟龙套管技术要求 | 现行 | 2024-03-12 | 2024-03-27 |
| GB/T 30118-2026 | 声表面波(SAW)器件用单晶晶片 规范与测量方法 | 即将实施 | 2026-08-28 | 2027-03-01 |
| SJ/T 12093-2025 | 晶片精密研磨盘 | 现行 | 2025-12-19 | 2026-07-01 |
| T/CECA 83-2023 | 钽酸锂和铌酸锂还原单晶晶片 明度和色差技术要求及测量方法 | 现行 | 2023-06-13 | 2023-06-20 |