钽酸锂和铌酸锂还原单晶晶片 明度和色差技术要求及测量方法

Lithium tantalate and lithium niobate reduced single crystal wafers— technical requirements and measurement methods for lightness and color difference

T/CECA 83-2023制造业

现行

更新日期:2026-09-12

标准状态

发布日期

2023-06-13

实施日期

2023-06-20

基础信息

标准号

T/CECA 83-2023

包含专利

否

标准分类

中国标准分类号

L 21

国际标准分类号

31.140

标准层级

团体标准

主要技术内容

本文件规定了声表面波器件用钽酸锂(LT)和铌酸锂(LN)还原单晶晶片明度和色差的术语和定义、技术要求和测量方法。本文件适用于声表面波器件用LT和LN单面抛光还原单晶晶片的设计、制造与验收。本文件不适用于声表面波器件用LT和LN双面抛光还原单晶晶片。

起草单位

福建晶安光电有限公司、无锡市好达电子股份有限公司、中电科技德清华莹电子有限公司、烁光特晶科技有限公司、宁夏索特科新型器件有限公司、中国电子科技集团公司第二十六研究所、成都泰美克晶体技术有限公司、泉州市三安集成电路有限公司、杭州左蓝微电子技术有限公司、四川三台水晶电子有限公司、广东广纳芯科技有限公司、厦门大学电磁声学研究院、济南晶正电子科技有限公司、苏州南智芯材科技有限公司

起草人

杨胜裕、枋明辉、黄辉、李勇、尹利君、雷顺京、田本郎、李辉、邹福松、刘建生、周禄雄、李红浪、朱锦锋、胡文、赵刚

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