The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| T/CNEA 249.5-2024 | 核工业用锆及锆合金化学分析方法 第5部分：合金及杂质元素的测定?电感耦合等离子体原子发射光谱法 | 现行 | 2025-02-02 | —— |
| T/CSTM 00780.3-2023 | 钒酸钠分析方法 第3部分：硅铝等12种杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体光谱法 | 现行 | 2023-05-28 | —— |
| GB/T 36590-2018 | 高纯银化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法（外文版EN） | 现行 | —— | 找相似 |
| GB/T 25934.1-2010 | 高纯金化学分析方法 第1部分：乙酸乙脂萃取分离ICP-AES法 测定杂质元素的含量（外文版EN） | 现行 | —— | 找相似 |
| GB/T 25934.2-2010 | 高纯金化学分析方法 第2部分：ICP-MS-标准加入校正-内标法 测定杂质元素的含量（外文版EN） | 现行 | —— | 找相似 |
| GB/T 25934.3-2010 | 高纯金化学分析方法 第3部分：乙醚萃取分离ICP-AES法 测定杂质元素的含量（外文版EN） | 现行 | —— | 找相似 |
| GB/T 30903-2026 | 无机化工产品 杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS） | 即将实施 | 2026-10-01 | 找相似 |
| YS/T 1467.12-2021 | 铪化学分析方法 第12部分：痕量杂质元素的测定 | 现行 | 2022-04-01 | 找相似 |
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| YS/T 1654-2023 | 氮化镓化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法 | 现行 | 2024-07-01 | 找相似 |
| YS/T 1505-2021 | 高纯钌化学分析方法 杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法 | 现行 | 2022-04-01 | 找相似 |
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