Calibration Specification for Magnetic Suspension Spinning Rotor Gauges
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| JB/T 7463-2005 | 热阴极电离真空计 | 现行 | 2005-11-01 | 找相似 |
| JB/T 10075-2013 | 冷阴极电离真空计 | 现行 | 2014-07-01 | 找相似 |
| JB/T 10553-2006 | 真空技术 扩散硅压阻真空计 | 现行 | 2006-10-01 | 找相似 |
| GB/Z 42625-2023 | 真空技术 真空计 用于分压力测量的四极质谱仪特性 | 现行 | —— | 找相似 |
| GB/Z 42624-2023 | 真空技术 真空计 放气率的测试和报告程序 | 现行 | —— | 找相似 |
| GB/T 42604-2023 | 真空技术 真空计 热阴极电离真空计规范 | 现行 | 2023-05-23 | 找相似 |
| GB/T 40333-2021 | 真空计 四极质谱仪的定义与规范 | 现行 | 2021-12-01 | 找相似 |
| GB/T 30434-2013 | 电阻真空计通用技术条件 | 现行 | 2014-08-01 | 找相似 |
| T/GVS 005-2022 (2) | 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范 | 现行 | 2022-03-28 | —— |
| T/GVS 005-2022 | 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范 | 现行 | 2022-03-28 | —— |
| JJG 159-2022 | 双活塞式压力真空计 | 现行 | 2022-10-29 | 找相似 |
| JJG 2022-2009 | 真空计量器具 | 现行 | 2010-01-30 | 找相似 |
| JB/T 7463-1994 | 热阴极电离真空计技术条件 | 废止 | 1995-07-01 | 找相似 |
| JB/T 6873-1993 | 热偶真空计 技术条件 | 废止 | 1994-01-01 | 找相似 |
| JB/T 15418-2026 | 活塞式压力真空计 | 即将实施 | 2026-11-02 | 找相似 |
| JJG 932-1998 | 压阻真空计 | 现行 | 1998-10-01 | 找相似 |
| JJG 51-2003 | 带平衡液柱活塞式压力真空计 | 现行 | 2003-09-01 | 找相似 |
| JJG 236-2009 | 活塞式压力真空计 | 现行 | 2010-01-30 | 找相似 |