Vacuum technology—Vacuum gauges—Procedures to measure and report outgassing rates
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| GB/Z 42624-2023 | 真空技术真空计 放气率的测试和报告程序 | 现行 | —— | 找相似 |
| SJ/T 10550-1994 | 电子管内涂石墨乳真空放气性能测试方法 | 废止 | 1994-12-01 | 找相似 |
| T/GVS 005-2022 (2) | 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范 | 现行 | 2022-03-28 | —— |
| T/GVS 005-2022 | 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范 | 现行 | 2022-03-28 | —— |
| GB/T 18443.4-2010 | 真空绝热深冷设备性能试验方法 第4部分：漏放气速率测量 | 现行 | 2011-02-01 | 找相似 |
| T/CGMA 0602-2021 | 真空条件下固体材料放气检测方法 | 现行 | 2021-11-01 | —— |
| T/BEA 43010-2024 | 封装电子材料真空放气率检测规范 | 现行 | 2024-09-23 | —— |
| GB/T 34876-2017 | 真空技术真空计 与标准真空计直接比较校准结果的不确定度评定 | 现行 | 2018-05-01 | 找相似 |
| JB/T 10074-2004 | 电阻真空计 技术条件 | 现行 | 2004-08-01 | 找相似 |
| JB/T 10553-2006 | 真空技术 扩散硅压阻真空计 | 现行 | 2006-10-01 | 找相似 |
| GB/Z 42625-2023 | 真空技术真空计 用于分压力测量的四极质谱仪特性 | 现行 | —— | 找相似 |
| GB/T 43916-2024 | 真空技术真空计 电容薄膜真空计的规范、校准和测量不确定度 | 现行 | 2024-04-25 | 找相似 |
| GB/T 42604-2023 | 真空技术真空计 热阴极电离真空计规范 | 现行 | 2023-05-23 | 找相似 |
| GB/T 45856-2025 | 真空技术真空计 皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度 | 现行 | 2025-11-01 | 找相似 |
| GB/T 46081-2025 | 真空技术真空计 磁悬浮转子真空计的规范、校准和测量不确定度 | 现行 | 2025-08-29 | 找相似 |
| GB/T 30434-2013 | 电阻真空计通用技术条件 | 现行 | 2014-08-01 | 找相似 |
| JB/T 7463-1994 | 热阴极电离真空计技术条件 | 废止 | 1995-07-01 | 找相似 |
| JB/T 6873-1993 | 热偶真空计 技术条件 | 废止 | 1994-01-01 | 找相似 |