Vacuum technology—Vacuum gauges—Specifications, calibration and measurement uncertainties for Pirani gauges
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 45856-2025 | 真空技术真空计 皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度 | 现行 | 2025-11-01 | 相似 |
| GB/T 43916-2024 | 真空技术真空计 电容薄膜真空计的规范、校准和测量不确定度 | 现行 | 2024-04-25 | 相似 |
| GB/T 46081-2025 | 真空技术真空计 磁悬浮转子真空计的规范、校准和测量不确定度 | 现行 | 2025-08-29 | 相似 |
| T/BEA 43008-2024 | （10-1~10-7）Pa真空计现场校准规范 | 现行 | 2024-09-18 | —— |
| JJF 1962-2022 | 磁悬浮转子真空计校准规范 | 现行 | 2022-10-29 | 相似 |
| JJF 1062-2022 | 电离真空计校准规范 | 现行 | 2022-10-29 | 相似 |
| JJF 1503-2015 | 电容薄膜真空计校准规范 | 现行 | 2015-04-30 | 相似 |
| JJF 1050-2023 | 工业用热传导真空计校准规范 | 现行 | 2023-12-30 | 相似 |
| GB/T 34876-2017 | 真空技术真空计 与标准真空计直接比较校准结果的不确定度评定 | 现行 | 2018-05-01 | 相似 |
| GB/T 34873-2017 | 真空计 与标准真空计直接比较校准 | 现行 | 2018-05-01 | 相似 |
| T/CGMA 0601-2021 | 便携式真空计校准装置 | 现行 | 2021-11-01 | —— |
| GB/T 42604-2023 | 真空技术真空计 热阴极电离真空计规范 | 现行 | 2023-05-23 | 相似 |
| GB/T 40333-2021 | 真空计 四极质谱仪的定义与规范 | 现行 | 2021-12-01 | 相似 |
| T/GVS 005-2022 (2) | 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范 | 现行 | 2022-03-28 | —— |
| T/GVS 005-2022 | 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范 | 现行 | 2022-03-28 | —— |
| JB/T 10074-2004 | 电阻真空计 技术条件 | 现行 | 2004-08-01 | 相似 |
| JB/T 10553-2006 | 真空技术 扩散硅压阻真空计 | 现行 | 2006-10-01 | 相似 |
| GB/Z 42625-2023 | 真空技术真空计 用于分压力测量的四极质谱仪特性 | 现行 | 相似 |