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薄膜 第12页

更新日期 2026‑10‑20
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 44515-2024微机电系统(MEMS)技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法现行2024-09-292025-01-01
GB/T 44513-2024微机电系统(MEMS)技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法现行2024-09-292025-01-01
GB/T 13542.4-2024电气绝缘用薄膜 第4部分:聚酯薄膜现行2024-09-292025-04-01
GB/T 44919-2024微机电系统(MEMS)技术 薄膜力学性能的鼓胀试验方法现行2024-11-282024-11-28
GB/T 44538-2024碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能现行2024-09-292025-04-01
GB/T 26332.1-2024光学和光子学 光学薄膜 第1部分:术语现行2024-09-292025-04-01
GB/T 44842-2024微机电系统(MEMS)技术 薄膜材料的弯曲试验方法现行2024-10-262024-10-26
DB52/T 1481-2019GP-C832Z装配式钢管塑料薄膜棚通用技术规范废止2019-12-312020-06-01
DB37/T 4168-2020全生物降解农用地面覆盖薄膜土壤环境安全监测技术规程废止2020-09-302020-10-30
YS/T 935-2013电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南现行2013-10-172014-03-01
YS/T 893-2013电子薄膜用高纯钛溅射靶材现行2013-10-172014-03-01
YS/T 644-2007铂钌合金薄膜测定方法 X射线光电子能谱法 测定合金态铂及合金态钌含量现行2007-04-132007-10-01
YS/T 718-2009平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶现行2009-12-042010-06-01
YS/T 819-2012电子薄膜用高纯铜溅射靶材现行2012-11-072013-03-01
YS/T 839-2012硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法现行2012-11-072013-03-01