主要技术内容
本文件描述了用微波光电导法测定碳化硅少数载流子寿命的方法。本文件适用于少数载流子寿命为20 ns～200 μs的碳化硅晶片的寿命测定及质量评价。
Test method for minority carrier lifetime in silicon carbide—microwave photoconductive decay
现行
2023-06-19
2023-06-19
本文件描述了用微波光电导法测定碳化硅少数载流子寿命的方法。本文件适用于少数载流子寿命为20 ns～200 μs的碳化硅晶片的寿命测定及质量评价。
山东大学、广州南砂晶圆半导体技术有限公司、瀚天天成电子科技(厦门)有限公司、广东天域半导体股份有限公司、泰科天润半导体科技（北京）有限公司、杭州海乾半导体有限公司、安徽长飞先进半导体有限公司、中国科学院半导体研究所、中电化合物半导体有限公司、北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
杨祥龙、崔潆心、彭燕、徐现刚、来玲玲、于国建、冯淦、丁雄杰、秋琪、林云昊、赵海明、钮应喜、金向军、徐瑞鹏
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/CASAS 032-2023 | 碳化硅晶片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2023-06-19 | 2023-06-19 |
| HG/T 3802-2006 | 工业电导仪 | 现行 | 2006-01-17 | 2006-07-01 |
| T/CACM 1089-2018 | 中医治未病技术操作规范 电导法穴位测评 | 现行 | 2018-09-17 | 2018-11-15 |
| GB/T 1553-2009 | 硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法 | 废止 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| JB/T 6153-1992 | 静电复印机光电导鼓用清洁刮板 技术条件 | 废止 | 1992-05-15 | 1993-01-01 |
| JB/T 9368-1999 | 电导电极 通用技术条件 | 废止 | 1999-08-06 | 2000-01-01 |