Microbeam analysis—Transmission electron microscopy—Method for measuring the thickness of functional thin films in integrated circuit chips
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 35099-2018 | 微束分析 扫描电镜-能谱法 大气细粒子单颗粒形貌与元素分析 | 现行 | 2018-05-14 | 2019-04-01 |
| GB/T 17722-2026 | 微束分析 金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法 | 即将实施 | 2026-01-28 | 2026-08-01 |
| GB/T 18295-2026 | 微束分析 油气储层砂岩样品扫描电镜分析方法 | 即将实施 | 2026-02-27 | 2026-09-01 |
| T/CSTM 01102-2023-2023 | 焊接接头成分原位统计分布分析微束X射线荧光光谱法 | 现行 | 2023-11-30 | 2024-02-29 |
| GB/T 15244-2013 | 微束分析 硅酸盐玻璃的定量分析 波谱法及能谱法（外文版EN） | 现行 | 2025-11-03 | |
| GB/T 27788-2011 | 微束分析 扫描电镜 图像放大倍率校准导则 | 废止 | 2011-12-30 | 2012-08-01 |
| GB/T 17359-2012 | 微束分析 能谱法定量分析 | 废止 | 2012-07-31 | 2013-02-01 |
| GB/T 47105-2026 | 微束分析 谱数据交换用标准文件格式 | 即将实施 | 2026-01-28 | 2026-08-01 |
| SY/T 5162-2021 | 岩石样品扫描电子显微镜分析方法 | 现行 | 2021-11-16 | 2022-02-16 |
| JY/T 0584-2020 | 扫描电子显微镜分析方法通则 | 现行 | 2020-09-29 | 2020-12-01 |
| GB/T 2679.11-2008 | 纸和纸板中无机填料和无机涂料的定性分析电子显微镜/X射线能谱法 | 现行 | 2008-08-19 | 2009-05-01 |
| GB/T 18295-2001 | 油气储层砂岩样品 扫描电子显微镜分析方法 | 废止 | 2001-01-10 | 2001-08-01 |
| SY/T 5162-2014 | 岩石样品扫描电子显微镜分析方法 | 废止 | 2014-10-15 | |
| SY/T 5162-1997 | 岩石样品扫描电子显微镜分析方法 | 废止 | 1997-12-31 | 1998-07-01 |
| GB/T 20725-2006 | 波谱法定性点分析电子探针显微分析导则 | 废止 | 2006-12-25 | 2007-08-01 |
| GB/T 21638-2008 | 钢铁材料缺陷电子束显微分析方法通则 | 废止 | 2008-04-11 | 2008-10-01 |
| T/JSAS 051-2023 | 通信用微束管气吹微型光缆 | 现行 | 2023-11-27 | 2023-11-28 |
| GB/T 28873-2012 | 纳米颗粒生物形貌效应的环境扫描电子显微镜检测方法通则 | 现行 | 2012-11-05 | 2013-02-15 |