Microbeam analysis—Transmission electron microscopy—Method for measuring the thickness of functional thin films in integrated circuit chips
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 17360-2020 | 微束分析 钢中低含量硅、锰的电子探针定量分析方法 | 现行 | 2020-06-02 | 2021-05-01 |
| GB/T 19501-2013 | 微束分析电子背散射衍射分析方法通则 | 现行 | 2013-07-19 | 2014-03-01 |
| GB/T 20724-2021 | 微束分析 薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法 | 现行 | 2021-12-31 | 2022-07-01 |
| GB/T 47186-2026 | 微束分析 稀土矿物的电子探针定量分析方法 | 即将实施 | 2026-02-27 | 2026-09-01 |
| GB/T 4930-2008 | 微束分析电子探针分析 标准样品技术条件导则 | 废止 | 2008-04-11 | 2008-10-01 |
| GB/T 43846.3-2024 | 显微镜 显微镜物镜的命名 第3部分：光谱透射率 | 现行 | 2024-04-25 | 2024-11-01 |
| SY/T 5125-2014 | 透射光—荧光干酪根显微组分鉴定及类型划分方法 | 现行 | 2014-10-15 | |
| SY/T 5125-1996 | 透射光-荧光干酪根显微组分鉴定及类型划分方法 | 废止 | 1996-12-25 | 1997-06-30 |
| GB/T 15244-2013 | 微束分析 硅酸盐玻璃的定量分析 波谱法及能谱法 | 现行 | 2013-07-19 | 2014-03-01 |
| DB44/T 1527-2015 | 微束分析 扫描电镜 图像清晰度评价方法 | 废止 | 2015-01-30 | 2015-04-30 |
| GB/T 35097-2018 | 微束分析 扫描电镜-能谱法 环境空气中石棉等无机纤维状颗粒计数浓度的测定 | 现行 | 2018-05-14 | 2019-04-01 |
| GB/T 38531-2020 | 微束分析 致密岩石微纳米级孔隙结构计算机层析成像（CT）分析方法 | 现行 | 2020-03-06 | 2021-02-01 |
| GB/T 27788-2020 | 微束分析 扫描电镜 图像放大倍率校准导则 | 现行 | 2020-06-02 | 2021-05-01 |
| GB/T 17359-2023 | 微束分析 原子序数不小于11的元素能谱法定量分析 | 现行 | 2023-12-28 | 2024-07-01 |
| GB/T 41074-2021 | 微束分析 用于波谱和能谱分析的粉末试样制备方法 | 现行 | 2021-12-31 | 2022-07-01 |
| GB/T 45468-2025 | 微束分析 岩石微孔隙聚焦离子束-扫描电镜三维成像分析方法 | 现行 | 2025-03-28 | 2025-10-01 |
| GB/T 18735-2014 | 微束分析分析电镜（ＡＥＭ／ＥＤＳ）纳米薄标样通用规范 | 现行 | 2014-07-24 | 2015-03-01 |
| GB/T 25189-2010 | 微束分析 扫描电镜能谱仪定量分析参数的测定方法 | 现行 | 2010-09-26 | 2011-08-01 |