Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Method for depth profiling of arsenic in silicon
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/Z 122-2025 | 表面化学分析 辉光放电质谱 操作程序 | 现行 | 2025-12-03 | |
| GB/T 34174-2017 | 表面化学分析 工作参考物质中离子注入产生的驻留面剂量定值的推荐程序 | 现行 | 2017-09-07 | 2018-08-01 |
| T/CNEA 249.9-2024 | 核工业用锆及锆合金化学分析方法 第9部分：表面氯含量的测定 离子选择电极法 | 现行 | 2024-12-04 | 2025-02-02 |
| T/CNEA 249.10-2024 | 核工业用锆及锆合金化学分析方法 第10部分：表面钙、镁、钠量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 | 现行 | 2024-12-04 | 2025-02-02 |
| GB/T 24575-2009 | 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| SN/T 4240-2015 | 电子电气产品 金属部件表面镀镍层中铅、镉含量测定 电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2015-05-26 | 2016-01-01 |
| GB/T 29849-2013 | 光伏电池用硅材料表面金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法 | 现行 | 2013-11-12 | 2014-04-15 |
| GB/T 39145-2020 | 硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2020-10-11 | 2021-09-01 |
| GB/T 24582-2023 | 多晶硅表面金属杂质含量测定 酸浸取-电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2023-08-06 | 2024-03-01 |
| T/CASAS 032-2023 | 碳化硅晶片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2023-06-19 | 2023-06-19 |
| GB/T 24582-2009 | 酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质 | 废止 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| YS/T 1864-2026 | 流化床法颗粒硅表面金属含量的测定 酸浸取-电感耦合等离子体质谱法 | 即将实施 | 2026-04-15 | 2026-11-01 |
| SN/T 4501.2-2017 | 镍精矿化学分析方法 第2部分：镓、锗、硒、镉、铟、碲、镧、铊含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2017-05-12 | 2017-12-01 |
| GB/T 14352.20-2021 | 钨矿石、钼矿石化学分析方法 第20部分：铌、钽、锆、铪及15个稀土元素量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2021-03-09 | 2021-10-01 |
| GB/T 12690.13-2003 | 稀土金属及其氧化物中非稀土杂质化学分析方法 钼、钨量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法和电感耦合等离子体质谱法 | 废止 | 2003-11-18 | 2004-06-01 |
| GB/T 5121.28-2021 | 铜及铜合金化学分析方法 第28部分：铬、铁、锰、钴、镍、锌、砷、硒、银、镉、锡、锑、碲、铅和铋含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2021-12-31 | 2022-07-01 |
| GB/T 17418.7-2010 | 地球化学样品中贵金属分析方法 第7部分：铂族元素量的测定 镍锍试金-电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2010-11-10 | 2011-02-01 |
| GB/T 23364.4-2009 | 高纯氧化铟化学分析方法 第4部分：铝、铁、铜、锌、镉、铅和铊量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2009-03-19 | 2010-01-01 |