Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Wafer curvature and cantilever beam deflection test methods for determining residual stresses of MEMS films
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| DB36/T 1496-2021 | 高速公路隧道机电系统施工技术指南 | 废止 | 2021-12-14 | 2022-06-01 |
| DB41/T 1533-2018 | 桥架型起重机电气防摇摆控制系统技术条件 | 废止 | 2018-01-03 | 2018-04-03 |
| DB37/T 2758-2016 | 山东省高速公路机电系统维护技术规范 | 废止 | 2016-03-14 | 2016-04-01 |
| GB/T 19910-2005 | 汽车发动机电子控制系统修理技术要求 | 废止 | 2005-09-14 | 2006-04-01 |
| GB/T 25368-2010 | 柴油机电控共轨喷油系统高压供油泵总成 技术条件 | 废止 | 2010-11-10 | 2011-03-01 |
| GB/T 25367-2010 | 柴油机电控共轨喷油系统喷油器总成 技术条件 | 废止 | 2010-11-10 | 2011-03-01 |
| GB/T 25366-2010 | 柴油机电控共轨喷油系统共轨管总成 技术条件 | 废止 | 2010-11-10 | 2011-03-01 |
| GB/T 26111-2010 | 微机电系统（MEMS）技术 术语 | 废止 | 2011-01-10 | 2011-10-01 |
| DB51/T 1226-2011 | 高速公路机电系统防雷装置检测技术规范 | 废止 | 2011-04-20 | 2011-05-01 |
| KA/T 758-1997 | 煤矿带式输送机电气式自动喷水灭火系统通用技术条件 | 现行 | 1997-12-30 | 1998-06-01 |
| GB/T 47753-2026 | 微机电系统（MEMS）技术 车规级MEMS半导体气体传感器技术规范 | 即将实施 | 2026-07-02 | 2027-02-01 |
| T/CECS 764-2020 | 公共建筑机电系统调适技术导则 | 现行 | 2020-10-09 | 2021-03-01 |
| T/CPARK 8-2020 | 桥架型起重机电气防摇摆控制系统技术条件 | 现行 | 2020-08-06 | 2020-08-06 |
| T/HFJX 1005-2018 | 再制造机电产品远程在线监测系统技术要求 | 现行 | 2018-08-06 | 2018-08-22 |
| DB36/T 743.1-2013 | 高速公路机电系统维护技术规范 第1部分：通用技术要求 | 有更新版 | 2013-12-25 | 2014-02-01 |
| T/HFJX 1005-2018 | 再制造机电产品远程在线监测系统技术要求 | 现行 | 2018-08-06 | 2018-08-22 |
| T/CECS 764-2020 | 公共建筑机电系统调适技术导则 | 现行 | 2020-10-09 | 2021-03-01 |
| T/SHMHZQ 009-2021 | 机电一体自动化控制系统技术规程 | 现行 | 2021-09-28 | 2021-09-28 |