Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Wafer curvature and cantilever beam deflection test methods for determining residual stresses of MEMS films
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 37048-2018 | 高速公路机电系统防雷技术规范 | 现行 | 2018-12-28 | 2019-07-01 |
| GB/T 44531-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 基于MEMS技术的车规级压力传感器技术规范 | 现行 | 2024-09-29 | 2024-09-29 |
| GB/T 42896-2023 | 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法 | 现行 | 2023-08-06 | 2023-12-01 |
| T/CPSI 01103-2024 | 钻机电控系统再制造升级技术规范 | 现行 | 2024-04-02 | 2024-06-01 |
| T/CPHA 18-2023 | 电动式集装箱空箱堆高机电气驱动系统技术要求 | 现行 | 2023-06-06 | 2023-09-01 |
| T/GDJSKB 015-2024 | 粤港澳大湾区既有建筑机电系统再调适技术导则 | 现行 | 2024-01-04 | 2024-03-01 |
| T/CPARK 8-2020 | 桥架型起重机电气防摇摆控制系统技术条件 | 现行 | 2020-08-06 | 2020-08-06 |
| DL/T 563-2016 | 水轮机电液调节系统及装置技术规程 | 现行 | 2016-01-07 | 2016-06-01 |
| GB/T 26113-2010 | 微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则（外文版EN） | 现行 | 2016-12-13 | |
| GB/T 36285-2018 | 火力发电厂汽轮机电液控制系统技术条件（外文版EN） | 现行 | 2023-11-02 | |
| GB/T 47563-2026 | 微机电系统（MEMS）技术 MEMS磁场传感器技术规范 | 即将实施 | 2026-04-30 | 2026-08-01 |
| GB/T 47562-2026 | 微机电系统（MEMS）技术 MEMS硅压阻温压复合压力传感器芯片 | 即将实施 | 2026-04-30 | 2026-08-01 |
| GB/T 47725-2026 | 微机电系统（MEMS）技术 硅通孔三维结构可靠性评价要求 | 即将实施 | 2026-05-25 | 2026-12-01 |
| GB/T 47719-2026 | 微机电系统（MEMS）技术 MEMS电容式麦克风性能试验方法 | 即将实施 | 2026-05-25 | 2026-09-01 |
| JT/T 817-2025 | 公路机电系统设备通用技术规范 | 现行 | 2025-06-27 | 2025-10-01 |
| DL/T 996-2006 | 火力发电厂汽轮机电液控制系统技术条件 | 废止 | 2006-05-06 | 2006-10-01 |
| JT/T 817-2011 | 公路机电系统设备通用技术要求及检测方法 | 废止 | 2011-11-28 | 2012-04-01 |
| DL/T 563-2004 | 水轮机电液调节系统及装置技术规程 | 废止 | 2004-10-20 | 2005-04-01 |