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微机电系统（MEMS）技术 MEMS膜残余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法

Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Wafer curvature and cantilever beam deflection test methods for determining residual stresses of MEMS films

GB/T 44517-2024推荐性国家标准

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上传时间：2026-03-02
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GB/T 44517-2024 相似标准 第9页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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