半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第2部分:缺陷的光学检测方法

Semiconductor device—Non-destructive recognition criteria of defects in silicon carbide homoepitaxial wafer for power devices—Part 2: Test method for defects using optical inspection

GB/T 43493.2-2023推荐性国家标准

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标准号标准名称状态发布日期实施日期
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JB/T 7063-1993电力半导体器件额定电压和电流废止1993-10-081994-01-01
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JB/T 5631-1991半导体器件外延炉能耗分等废止1991-08-271992-07-01
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JB/T 5630-1991半导体器件扩散炉能耗分等废止1991-08-271992-07-01