确定晶片坐标系规范

Specification for establishing a wafer coordinate system

GB/T 16596-2019推荐性国家标准

现行

上传时间:2026-02-27
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GB/T 16596-2019 相似标准 第2页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 18987-2003放射治疗设备 坐标系、运动与刻度废止2003-03-052003-08-01
GB/T 16977-2005工业机器人 坐标系和运动命名原则废止2005-07-292006-02-01
GA/T 629-2006警用电子地图坐标系与比例尺现行2006-08-012006-09-01
GB/T 34881-2017产品几何技术规范(GPS) 坐标测量机的检测不确定度评估指南现行2017-11-012018-05-01
GB/T 39518-2020产品几何技术规范(GPS) 使用单探针和多探针接触式探测系统坐标测量机的检测不确定度评估指南现行2020-11-192021-06-01
GB/T 24635.4-2020产品几何技术规范(GPS) 坐标测量机(CMM) 确定测量不确定度的技术 第4部分:应用仿真技术评估特定任务的测量不确定度现行2020-12-142021-07-01
GB/T 24635.1-2020产品几何技术规范(GPS) 坐标测量机(CMM) 确定测量不确定度的技术 第1部分:概要和计量特性现行2020-12-142021-07-01
GB/T 24635.3-2025产品几何技术规范(GPS) 坐标测量机(CMM)确定测量不确定度的技术 第3部分:应用已校准工件或测量标准现行2025-05-302025-09-01
GB/T 24635.3-2009产品几何技术规范(GPS) 坐标测量机(CMM) 确定测量不确定度的技术 第3部分:应用已校准工件或标准件废止2009-11-152010-09-01
JT/T 910-2014水面溢油跟踪浮标系统技术要求现行2014-04-152014-09-01
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YD/T 3385-2018移动互联网业务关键性能指标系统技术要求现行2018-12-212019-04-01
HY/T 092-2015海洋实时传输潜标系统现行2015-07-302015-10-01
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GB/T 30118-2013声表面波(SAW)器件用单晶晶片规范与测量方法现行2013-12-172014-05-15
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GB/T 30118-2026声表面波(SAW)器件用单晶晶片规范与测量方法即将实施2026-08-282027-03-01