Test method for thickness of silicon carbide epitaxial layer—Infrared reflectance method
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 10067.417-2023 | 电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分：碳化硅单晶生长装置 | 现行 | 2023-05-23 | 2023-12-01 |
| GB/T 41736-2022 | 高体积分数碳化硅颗粒铝基复合材料 | 现行 | 2022-10-14 | 2023-05-01 |
| GB/T 2480-2022 | 普通磨料 碳化硅 | 现行 | 2022-03-09 | 2022-10-01 |
| GB/T 21944.2-2022 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第2部分：异形梁 | 现行 | 2022-07-11 | 2023-02-01 |
| GB/T 30656-2023 | 碳化硅单晶抛光片 | 现行 | 2023-03-17 | 2023-10-01 |
| GB/T 21944.3-2022 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第3部分：辊棒 | 现行 | 2022-07-11 | 2023-02-01 |
| GB/T 32978-2016 | 碳化硅质高温陶瓷过滤元件 | 现行 | 2016-08-29 | 2017-07-01 |
| T/CI 962-2025 | 碳化硅陶瓷基复合材料 | 现行 | 2025-04-15 | 2025-04-15 |
| T/ZJCX 0049-2024 | 碳化硅衬底激光剥离设备 | 现行 | 2024-12-24 | 2024-12-25 |
| T/ZZB 2283-2021 | 半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉 | 现行 | 2021-08-26 | 2021-09-26 |
| T/SCS 000012-2021 | 碳化硼-碳化硅芯块 微量元素的测定 电感 耦合等离子体发射光谱法 | 现行 | 2021-06-14 | 2021-06-30 |
| T/SCS 000013-2021 | 碳化硼-碳化硅芯块 无机阴离子（F-、Cl-、Br-、I-）的测定 离子色谱法 | 现行 | 2021-05-14 | 2021-06-01 |
| T/CFA 02020501042-2023 | 铸造熔炼用碳化硅 | 现行 | 2023-03-01 | 2023-06-01 |
| T/SDAMA 010-2025 | 碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体 | 现行 | 2025-05-30 | 2025-05-30 |
| T/CIET 1282-2025 | 反应烧结碳化硅/碳化硼陶瓷板技术要求 | 现行 | 2025-05-14 | 2025-05-14 |
| T/CIET 1279-2025 | 碳化硅单晶生长技术规范 物理气相传输法（PVT） | 现行 | 2025-05-14 | 2025-05-14 |
| T/CASAS 048-2025 | 碳化硅单晶生长用等静压石墨 | 现行 | 2025-04-23 | 2025-04-23 |
| T/CASAS 036-2025 | 碳化硅单晶生长用等静压石墨构件纯度测定方法 辉光放电质谱法 | 现行 | 2025-04-23 | 2025-04-23 |