T/ZJCX 0049-2024 碳化硅衬底激光剥离设备

标准状态

发布日期

2024-12-24

实施日期

2024-12-25

基础信息

标准号

T/ZJCX 0049-2024

团体名称

浙江省企业技术创新协会

标准分类

标准层级

团体标准

主要技术内容

本文件规定了碳化硅衬底激光剥离设备的术语和定义、工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输和贮存。本文件适用于碳化硅衬底激光剥离设备的生产和检验。

起草单位

西湖仪器（杭州）技术有限公司、西湖大学、西湖大学光电研究院、北京天科合达半导体股份有限公司、山西烁科晶体有限公司、浙江材孜科技有限公司、河北同光半导体股份有限公司

起草人

仇旻、刘东立、俞小英、朱佳凯、刘峰江、陈文轩、刘春俊、魏汝省、王明华、崔景光

专题

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