| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/CEMIA 024-2021 | 半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范 | 现行 | 2021-07-15 | 2021-12-25 |
| T/CEMIA 023-2021 | 半导体单晶硅生长用石英坩埚 | 现行 | 2021-07-15 | 2021-12-25 |
| T/JSAS 015-2021 | 单晶硅太阳能电池片 | 现行 | 2021-09-25 | 2021-09-25 |
| ZJM-001-4431-2022 | TDR系列单晶生长炉 | 现行 | 2022-05-31 | 2022-05-31 |
| ZJM-001-4431-2023 | TDR系列单晶生长炉 | 现行 | 2023-11-03 | 2023-11-03 |
| ZJM-042-4421-2024 | 单晶硅棒磨倒一体机 | 现行 | 2024-02-22 | 2024-02-22 |
| T/CECA 83-2023 | 钽酸锂和铌酸锂还原单晶晶片 明度和色差技术要求及测量方法 | 现行 | 2023-06-13 | 2023-06-20 |
| YB/T 4589-2026 | 单晶炉保温用炭/炭复合材料 | 即将实施 | 2026-04-16 | 2026-11-01 |
| GB/T 47625-2026 | 精细陶瓷 平行光束X射线衍射法测定单晶薄膜（晶圆）结晶质量 | 即将实施 | 2026-05-25 | 2026-12-01 |
| JJF 1256-2010 | X射线单晶体定向仪校准规范 | 现行 | 2010-06-10 | 2010-09-10 |
| JC/T 3079-2026 | 钙镁锆共掺钆镓石榴石单晶衬底 | 即将实施 | 2026-07-15 | 2027-02-01 |
| GB/T 30118-2026 | 声表面波（SAW）器件用单晶晶片 规范与测量方法 | 即将实施 | 2026-08-28 | 2027-03-01 |