半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范

Quartz crucible manufacturing practices for semiconductor monosilicon growth

T/CEMIA 024-2021制造业

现行

更新日期:2026-09-12

标准状态

发布日期

2021-07-15

实施日期

2021-12-25

基础信息

标准号

T/CEMIA 024-2021

包含专利

否

标准分类

中国标准分类号

L 90电子设备与专用材料、零件、结构件

国际标准分类号

31-030

标准层级

团体标准

适用范围

本文件确立了半导体单晶硅生长用石英坩埚从业人员、生产设备、主要原辅材料、生产工艺、作业环境及产品质量管控的程序和总体原则。 本文件适用于半导体单晶硅生长用石英坩埚生产过程。

主要技术内容

本文件确立了半导体单晶硅生长用石英坩埚从业人员、生产设备、主要原辅材料、生产工艺、作业环境及产品质量管控的程序和总体原则。本文件适用于半导体单晶硅生长用石英坩埚的生产过程。

起草单位

锦州佑鑫石英科技有限公司、内蒙古欧晶科技股份有限公司、江西中昱新材料科技有限公司

起草人

陈曼、何文兵、苏光都、李宗辉、杜兴林、王文庆、朱旦、徐晓军、朱剑、李晓航、王君伟、王慧、韩东、李秀英、钱宜刚、贾建亮、万鹏远、潘志华、杨军、周锐

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