半导体单晶硅生长用石英坩埚

本文件界定了半导体单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义， 并规定了尺寸偏差、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存。 本文件适用于以高纯石英砂（成份：二氧化硅）为原料，采用电弧熔融法生产，用于半导体单晶硅生长用石英坩埚。

本文件界定了半导体单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义，规定了规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存。本文件适用于以高纯石英砂(成分：二氧化硅)为原料，采用电弧熔融法生产，用于半导体单晶硅生长的石英坩埚。

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