The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 14844-1993 | 半导体材料牌号表示方法 | 废止 | 1994-09-01 | 找相似 |
| GB/T 1550-1997 | 非本征半导体材料导电类型测试方法 | 废止 | 1997-12-01 | 找相似 |
| GB/T 14264-2009 | 半导体材料术语 | 废止 | 2010-06-01 | 找相似 |
| GB/Z 37664.3-2025 | 纳米制造 关键控制特性 发光纳米材料 第3部分: 时间相关单光子计数法测量半导体量子点的荧光寿命 | 现行 | —— | 找相似 |
| GB/T 4937.39-2025 | 半导体器件 机械和气候试验方法 第39部分：半导体器件用有机材料的潮气扩散率和水溶解度测量 | 即将实施 | 2026-07-01 | 找相似 |
| T/ZJATA 0017-2023 | 制备碳化硅半导体材料用化学气相沉积法(CVD)外延设备 | 现行 | 2023-07-20 | —— |
| YS/T 1828-2025 | 半导体材料掺杂用扩散膜 | 即将实施 | 2026-07-01 | 找相似 |
| GB/T 42709.2-2026 | 半导体器件 微电子机械器件 第2部分：薄膜材料拉伸试验方法 | 即将实施 | 2026-11-01 | 找相似 |
| GB/T 42709.21-2026 | 半导体器件 微电子机械器件 第21部分：MEMS薄膜材料泊松比测试方法 | 即将实施 | 2027-02-01 | 找相似 |
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| GB/T 48120-2026 | 精细陶瓷 室内照明环境下半导体光催化材料测试用LED光源 | 即将实施 | 2027-03-01 | 找相似 |
| SN/T 3363-2012 | 铅锭中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 | 现行 | 2013-07-01 | 找相似 |
| SN/T 2619-2010 | 金属铬中铝、锑、砷、铋、铜、铁、铅、硅、锡杂质元素的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 | 现行 | 2010-12-01 | 找相似 |
| SN/T 3796-2014 | 滑石粉中酸溶杂质元素（铅、镉、铬、砷、汞、铜、锌、锰、镍、钴）的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2014-08-01 | 找相似 |
| GB/T 14849.4-2014 | 工业硅化学分析方法 第4部分：杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 | 现行 | 2015-08-01 | 找相似 |
| GB/T 30903-2014 | 无机化工产品 杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS) | 现行 | 2014-12-01 | 找相似 |