300mm硅片表面纳米形貌的评价方法

Practice methods for nanotopography of 300 mm silicon wafer surface

GB/T 47906-2026推荐性国家标准

即将实施

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GB/T 47906-2026 相似标准 第12页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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GB/Z 43890-2024纳米技术 纳米银性能测试方法指南现行2024-07-24
GB/T 37131-2018纳米技术 半导体纳米粉体材料紫外-可见漫反射光谱的测试方法现行2018-12-282018-12-28
GB/T 42976-2023纳米技术 纳米光电显示 量子点光转换膜光学性能测试方法现行2023-09-072024-04-01
GB/T 24369.1-2009金纳米棒表征 第1部分:紫外/可见/近红外吸收光谱方法现行2009-09-302009-12-01
GB/T 28044-2011纳米材料生物效应的透射电子显微镜检测方法通则现行2011-10-312012-02-01
GB/T 38614-2020基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法现行2020-04-282020-11-01
GB/T 42471-2023纳米技术 柔性纳米储能器件弯曲测试方法现行2023-03-172023-10-01
T/CASAS 020-2021微纳米金属烧结体热导率试验方法 闪光法现行2021-11-012021-12-01
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T/CASAS 018-2021微纳米金属烧结连接件 剪切强度试验方法现行2021-11-012021-12-01
T/BSPT 002-2018微纳加工 离子束辐照应变诱导三维纳米结构与器件的加工方法现行2018-06-202018-07-01
GB/T 47280-2026纳米技术 铁氧体纳米颗粒磁共振弛豫效能测试方法即将实施
GB/T 24369.2-2018金纳米棒表征 第2部分:光学性质测量方法(外文版EN)现行2022-12-28
GB/T 26826-2011碳纳米管直径的测量方法(外文版EN)现行2020-12-14
GB/T 25898-2010仪器化纳米压入试验方法 薄膜的压入硬度和弹性模量(外文版EN)现行2020-12-14
GB/T 28044-2011纳米材料生物效应的透射电子显微镜检测方法通则(外文版EN)现行2020-12-14
GB/T 24369.1-2009金纳米棒表征 第1部分:紫外/可见/近红外吸收光谱方法(外文版EN)现行2020-12-14