微机电系统(MEMS)技术 硅通孔三维结构可靠性评价要求

Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Requirements for reliability evaluation of three-dimensional structure of through-silicon vias

GB/T 47725-2026推荐性国家标准

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更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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