Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Requirements for reliability evaluation of three-dimensional structure of through-silicon vias
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| JB/T 3411.88-1999 | 不通孔用锥柄卡口镗铰刀杆 尺寸 | 废止 | 1999-05-20 | 2000-01-01 |
| JB/T 6792-1993 | 仪器仪表用通孔宝石轴承 | 废止 | 1993-07-09 | 1994-01-01 |
| CB 3236-1984 | 船用门应急通孔 | 废止 | 1984-12-17 | 1986-03-01 |
| GB/T 9910-1988 | 船用外部单扇门门框通孔 | 废止 | 1988-09-20 | 1989-06-01 |
| GB/T 152.1-1988 | 紧固件 铆钉用通孔 | 现行 | 1988-02-06 | 1989-01-01 |
| GB/T 9910-2026 | 船用外部单扇门门框通孔 | 即将实施 | 2026-07-02 | 2026-11-01 |
| T/CAEE 009-2020 | 结构化三维装配工艺产品生命周期管理系统通用技术标准 | 现行 | 2020-05-13 | 2020-08-13 |
| T/ZZB 0697-2018 | 结构光手持式三维测量系统 | 现行 | 2018-11-02 | 2018-11-30 |
| JJF 1951-2021 | 基于结构光扫描的光学三维测量系统校准规范 | 现行 | 2021-12-28 | 2022-06-28 |
| T/ZZB 0697-2018 | 结构光手持式三维测量系统 | 现行 | 2018-11-02 | 2018-11-30 |
| GB/T 42158-2023 | 微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法 | 现行 | 2023-03-17 | 2023-07-01 |
| GB/T 34893-2017 | 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-05-01 |
| GB/T 34899-2017 | 微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-05-01 |
| GB/T 34894-2017 | 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-05-01 |
| GB/T 34900-2017 | 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-05-01 |
| GB/T 38447-2020 | 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法 | 现行 | 2020-03-06 | 2020-07-01 |
| GB/T 42895-2023 | 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法 | 现行 | 2023-08-06 | 2023-12-01 |
| GB/T 42896-2023 | 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法 | 现行 | 2023-08-06 | 2023-12-01 |