Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Requirements for reliability evaluation of three-dimensional structure of through-silicon vias
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/ZAII 037-2022 | 面向拆码垛场景三维机器视觉集成系统要求 | 现行 | 2022-07-11 | 2022-07-11 |
| JJF 1242-2010 | 激光跟踪三维坐标测量系统校准规范 | 现行 | 2010-01-05 | 2010-04-05 |
| GB/T 38446-2020 | 微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法 | 现行 | 2020-03-06 | 2020-10-01 |
| GB/T 34898-2017 | 微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-05-01 |
| GB/T 21427-2008 | 特殊环境条件 干热沙漠对内燃机电站系统的技术要求及试验方法 | 废止 | 2008-01-22 | 2008-09-01 |
| GB/T 26113-2010 | 微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则 | 现行 | 2011-01-10 | 2011-10-01 |
| GB/T 36285-2018 | 火力发电厂汽轮机电液控制系统技术条件 | 现行 | 2018-06-07 | 2019-01-01 |
| DB36/T 743.2-2021 | 高速公路机电系统维护技术规范 第 2 部分：监控系统 | 现行 | 2021-09-03 | 2022-03-01 |
| GB/T 19910-2022 | 汽车发动机电子控制系统修理技术要求 | 现行 | 2022-10-14 | 2023-05-01 |
| DB36/T 743.1-2023 | 高速公路机电系统维护技术规范 第1部分：通用技术要求 | 现行 | 2023-12-11 | 2024-06-01 |
| GB/T 26112-2010 | 微机电系统（MEMS）技术 微机械量评定总则 | 现行 | 2011-01-10 | 2011-10-01 |
| JB/T 14177-2022 | 柴油机电控共轨系统滚轮挺柱部件 技术规范 | 现行 | 2022-10-20 | 2023-04-01 |
| JB/T 11728-2013 | 数控高速木材切断机电气控制系统技术条件 | 现行 | 2013-12-31 | 2014-07-01 |
| GB/T 26111-2023 | 微机电系统（MEMS）技术 术语 | 现行 | 2023-05-23 | 2023-09-01 |
| GB/T 42597-2023 | 微机电系统（MEMS）技术 陀螺仪 | 现行 | 2023-05-23 | 2023-09-01 |
| GB/T 44515-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法 | 现行 | 2024-09-29 | 2025-01-01 |
| GB/T 44849-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 金属膜材料成形极限测量方法 | 现行 | 2024-10-26 | 2025-05-01 |
| GB/T 44513-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法 | 现行 | 2024-09-29 | 2025-01-01 |