Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Requirements for reliability evaluation of three-dimensional structure of through-silicon vias
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 44919-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 薄膜力学性能的鼓胀试验方法 | 现行 | 2024-11-28 | 2024-11-28 |
| GB/T 44517-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 MEMS膜残余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法 | 现行 | 2024-09-29 | 2025-04-01 |
| GB/T 44839-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法 | 现行 | 2024-10-26 | 2025-02-01 |
| GB/T 44529-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 射频MEMS环行器和隔离器 | 现行 | 2024-09-29 | 2024-09-29 |
| GB/T 44842-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 薄膜材料的弯曲试验方法 | 现行 | 2024-10-26 | 2024-10-26 |
| GB/T 42897-2023 | 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法 | 现行 | 2023-08-06 | 2023-12-01 |
| GB/T 25365.1-2010 | 柴油机电控共轨喷油系统总成 技术条件 第1部分：机械 | 现行 | 2010-11-10 | 2011-03-01 |
| MT/T 758-1997 | 煤矿带式输送机电气式自动喷水灭火系统通用技术条件 | 现行 | 1997-12-30 | 1998-06-01 |
| GB/T 40580-2021 | 高压直流输电系统机电暂态仿真建模技术导则 | 现行 | 2021-10-11 | 2022-05-01 |
| GB/T 21427-2025 | 特殊环境条件 干热沙漠对内燃机电站系统的技术要求及试验方法 | 即将实施 | 2025-12-31 | 2026-07-01 |
| GB/T 44514-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 层状MEMS材料界面黏附能四点弯曲试验方法 | 现行 | 2024-09-29 | 2024-09-29 |
| DB45/T 2896-2024 | 高速公路隧道机电系统技术规范 | 现行 | 2024-09-30 | 2024-12-01 |
| SL 615-2013 | 水轮机电液调节系统及装置基本技术规程 | 现行 | 2013-09-06 | 2013-12-06 |
| JB/T 11727-2013 | 数控木（梳齿）榫开榫机电气控制系统技术条件 | 现行 | 2013-12-31 | 2014-07-01 |
| DB23/T 3705-2024 | 高速公路机电系统建设技术规范 | 现行 | 2024-06-13 | 2024-07-12 |
| DB36/T 743.3-2021 | 高速公路机电系统维护技术规范 第 3 部分：通信系统 | 现行 | 2021-09-03 | 2022-03-01 |
| DB12/T 1346-2024 | 高速公路机电系统运维技术要求 | 现行 | 2024-08-09 | 2024-09-10 |
| GB/T 38341-2019 | 微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法 | 现行 | 2019-12-31 | 2020-04-01 |