| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| YS/T 987-2021 | 氯硅烷中碳含量的测定 气相色谱质谱联用法 | 现行 | 2022-04-01 | 找相似 |
| YS/T 987-2014 | 氯硅烷中碳杂质的测定方法——甲基二氯氢硅的测定 | 废止 | 2015-04-01 | 找相似 |
| YS/T 1392-2020 | 氯硅烷组分含量的测定气相色谱法 | 现行 | 2021-04-01 | 找相似 |
| YS/T 1060-2015 | 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定气相色谱法 | 现行 | 2015-10-01 | 找相似 |
| DB15/T 1242-2017 | 氯硅烷中六氯硅氧烷含量的测定气相色谱—质谱法 | 废止 | 2017-12-10 | 找相似 |
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| T/CNIA 0017-2019 | 多晶硅用氯硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2019-06-01 | —— |
| GB/T 20434-2006 | 一甲基三氯硅烷 | 现行 | 2006-11-01 | 找相似 |
| GB/T 30302-2013 | 工业用苯基三氯硅烷 | 现行 | 2014-08-01 | 找相似 |
| GB/T 30304-2013 | 工业用甲基苯基二氯硅烷 | 现行 | 2014-08-01 | 找相似 |
| HG/T 5393-2018 | 工业用三甲基一氯硅烷 | 现行 | 2019-04-01 | 找相似 |
| GB/T 35498-2017 | 工业用乙烯基三氯硅烷 | 现行 | 2018-04-01 | 找相似 |
| GB/T 38866-2020 | 电子工业用二氯硅烷 | 现行 | 2021-02-01 | 找相似 |
| GB/T 23953-2025 | 工业用二甲基二氯硅烷 | 现行 | 2026-01-01 | 找相似 |