Determination of impurity content in trichlorosilane for silicon epitaxy—Inductively coupled plasma mass spectrometry
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 14488.2-2008 | 油料 杂质含量的测定 | 现行 | 2008-11-04 | 2009-01-20 |
| JB/T 13306-2017 | 超硬磨料 立方氮化硼杂质含量检测方法 | 现行 | 2017-11-07 | 2018-04-01 |
| YS/T 229.4-2013 | 高纯铅化学分析方法 第4部分：痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法 | 现行 | 2013-10-17 | 2014-03-01 |
| YS/T 935-2013 | 电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南 | 现行 | 2013-10-17 | 2014-03-01 |
| YS/T 34.1-2011 | 高纯砷化学分析方法 电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）测定高纯砷中杂质含量 | 现行 | 2011-12-20 | 2012-07-01 |
| YS/T 917-2013 | 高纯镉化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法 | 现行 | 2013-10-17 | 2014-03-01 |
| YS/T 1347-2020 | 高纯铪化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法 | 现行 | 2020-04-16 | 2020-10-01 |
| YS/T 870-2020 | 纯铝化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2020-12-09 | 2021-04-01 |
| YS/T 922-2013 | 高纯铜化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法 | 现行 | 2013-10-17 | 2014-03-01 |
| YB/T 4590-2017 | 硅材料用高纯石墨制品中杂质含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法 | 现行 | 2017-04-12 | 2017-10-01 |
| JC/T 2027-2010 | 高纯石英中杂质含量的测定方法会 电感耦合等离子体原子发射光谱法 | 现行 | 2010-11-10 | 2011-03-01 |
| JC/T 2133-2012 | 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法 | 现行 | 2012-12-28 | 2013-06-01 |
| HG/T 3945-2007 | 氯乙烯单体 有机杂质含量的测定 | 现行 | 2007-07-20 | 2008-01-01 |
| GB/T 29849-2013 | 光伏电池用硅材料表面金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法 | 现行 | 2013-11-12 | 2014-04-15 |
| GB/T 12690.21-2024 | 稀土金属及其氧化物中非稀土杂质化学分析方法 第21部分：稀土氧化物中硫酸根含量的测定 硫酸钡比浊法 | 现行 | 2024-10-26 | 2025-05-01 |
| YY/T 1507.4-2016 | 外科植入物用超高分子量聚乙烯粉料中杂质元素的测定 第4部分 ICP-MS法测定铝（Al）元素含量 | 现行 | 2016-07-29 | 2017-06-01 |
| YY/T 1507.1-2016 | 外科植入物用超高分子量聚乙烯粉料中杂质元素的测定 第1部分 ICP-MS法测定钛（Ti）元素含量 | 现行 | 2016-07-29 | 2017-06-01 |
| YY/T 1507.3-2016 | 外科植入物用超高分子量聚乙烯粉料中杂质元素的测定 第3部分 ICP-MS法测定钙（Ca）元素含量 | 现行 | 2016-07-29 | 2017-06-01 |