Determination of impurity content in trichlorosilane for silicon epitaxy—Inductively coupled plasma mass spectrometry
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| ZJM-002-3547-2023 | 高压MOSFET用200 mm硅外延片 | 现行 | 2023-11-07 | 2023-11-07 |
| SN/T 3363-2012 | 铅锭中杂质元素含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法 | 现行 | 2012-12-12 | 2013-07-01 |
| DB35/T 1625-2016 | 一氧化碳中杂质含量的测定 气相色谱法 | 现行 | 2016-12-30 | 2017-04-01 |
| GB/T 14849.4-2014 | 工业硅化学分析方法 第4部分：杂质元素含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法 | 现行 | 2014-12-05 | 2015-08-01 |
| GH/T 1337-2021 | 籽棉杂质含量快速测定 近红外光谱法 | 现行 | 2021-07-07 | 2021-10-01 |
| GB/T 25934.1-2010 | 高纯金化学分析方法 第1部分：乙酸乙脂萃取分离ICP-AES法 测定杂质元素的含量 | 现行 | 2010-12-23 | 2011-09-01 |
| GB/T 25934.2-2010 | 高纯金化学分析方法 第2部分：ICP-MS-标准加入校正-内标法 测定杂质元素的含量 | 现行 | 2010-12-23 | 2011-09-01 |
| GB/T 24581-2022 | 硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法 | 现行 | 2022-03-09 | 2022-10-01 |
| SN/T 2081-2008 | 氧化铝中杂质元素含量的测定 微波溶样ICP-AES法 | 现行 | 2008-04-29 | 2008-11-01 |
| GB/T 31854-2015 | 光伏电池用硅材料中金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法 | 现行 | 2015-07-03 | 2016-03-01 |
| GB/T 7717.12-2022 | 工业用丙烯腈 第12部分：纯度及杂质含量的测定 气相色谱法 | 现行 | 2022-07-11 | 2023-02-01 |
| GB/T 41153-2021 | 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法 | 现行 | 2021-12-31 | 2022-07-01 |
| GB/T 29851-2013 | 光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法 | 现行 | 2013-11-12 | 2014-04-15 |
| SN/T 4020-2013 | 纯铁杂质含量测定 X射线荧光光谱法 | 现行 | 2013-11-06 | 2014-06-01 |
| GB/T 26416.2-2022 | 稀土铁合金化学分析方法 第2部分：稀土杂质含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法 | 现行 | 2022-12-30 | 2023-07-01 |
| SN/T 1504.5-2017 | 食品容器、包装用塑料原料 第5部分：聚烯烃中杂质元素含量的测定 X射线荧光光谱法 | 现行 | 2017-07-21 | 2018-03-01 |
| DB35/T 1248-2012 | 电子工业用锗烷气体中杂质含量的测定 气相色谱法 | 现行 | 2012-05-04 | 2012-08-05 |
| GB/T 12690.11-2025 | 稀土金属及其氧化物中非稀土杂质化学分析方法 第11部分：镁含量的测定 火焰原子吸收光谱法 | 现行 | 2025-08-01 | 2026-02-01 |