重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试 红外反射法

Test method for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates—Infrared reflectance method

GB/T 14847-2025推荐性国家标准

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GB/T 14847-2025 相似标准 第11页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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GB/T 13170.7-1991反射式电视测试图 棋盘格测试图废止1991-09-041992-05-01
GB/T 13170.2-1991反射式电视测试图 线性测试图 A 型废止1991-09-041992-05-01
GB/T 13170.8-1991反射式电视测试图 辐值响应测试图废止1991-09-041992-05-01
GB/T 13170.15-1991反射式电视测试图 灰度测试图 B 型废止1991-09-041992-05-01
GB/T 13170.14-1991反射式电视测试图 灰度测试图 A 型废止1991-09-041992-05-01
GB/T 13170.13-1991反射式电视测试图 区域测试图废止1991-09-041992-05-01
GB/T 13170.12-1991反射式电视测试图 辐射条测试图废止1991-09-041992-05-01
GB/T 13170.1-1991反射式电视测试图 综合测试图废止1991-09-041992-05-01
GB/T 13170.6-1991反射式电视测试图 余像测试图废止1991-09-041992-05-01
GB/T 13170.5-1991反射式电视测试图 中频特性测试图废止1991-09-041992-05-01
GB/T 13170.11-1991反射式电视测试图 圆域测试图废止1991-09-041992-05-01
GB/T 13170.10-1991反射式电视测试图 重合测试图 B 型废止1991-09-041992-05-01
GB/T 13170.9-1991反射式电视测试图 重合测试图 A 型废止1991-09-041992-05-01