重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试 红外反射法

Test method for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates—Infrared reflectance method

GB/T 14847-2025推荐性国家标准

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GB/T 14847-2025 相似标准 第12页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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