| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/ZZB 1790-2020 | 铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备 | 现行 | 2020-11-06 | 2020-11-30 |
| T/SZS 4034-2021 | 贵金属首饰表面磁控溅射镀铑工艺技术规范 | 现行 | 2021-07-22 | 2021-07-22 |
| T/CAS 304-2018 | 磁控溅射硅靶材及绑定靶材 | 现行 | 2018-05-29 | 2018-05-29 |
| YS/T 1851-2026 | 铂钴铬二氧化硅溅射靶材 | 即将实施 | 2026-04-15 | 2026-11-01 |
| YS/T 1835-2026 | 高纯钽磁控溅射环 | 即将实施 | 2026-04-15 | 2026-11-01 |