| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 12964-2018 | 硅单晶抛光片 | 现行 | 2018-09-17 | 2019-06-01 |
| GB/T 35305-2017 | 太阳能电池用砷化镓单晶抛光片 | 废止 | 2017-12-29 | 2018-07-01 |
| GB/T 6624-2009 | 硅抛光片表面质量目测检验方法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 4058-2009 | 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| YS/T 25-1992 | 硅抛光片表面清洗方法 | 现行 | 1992-03-09 | 1993-01-01 |
| GB/T 43313-2023 | 碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试 共焦点微分干涉法 | 现行 | 2023-11-27 | 2024-06-01 |
| GB/T 30858-2014 | 蓝宝石单晶衬底抛光片 | 废止 | 2014-07-24 | 2015-04-01 |
| GB/T 47097-2026 | 氮化铝单晶抛光片 | 即将实施 | 2026-01-28 | 2026-08-01 |
| GB/T 47080-2026 | 金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法 | 即将实施 | 2026-01-28 | 2026-08-01 |
| GB/T 41325-2022 | 集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片 | 现行 | 2022-03-09 | 2022-10-01 |
| GB/T 19921-2018 | 硅抛光片表面颗粒测试方法 | 现行 | 2018-12-28 | 2019-07-01 |
| GB/T 47082-2026 | 碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法 | 即将实施 | 2026-01-28 | 2026-08-01 |
| GB/T 30656-2023 | 碳化硅单晶抛光片 | 现行 | 2023-03-17 | 2023-10-01 |
| GB/T 35305-2026 | 太阳能电池用砷化镓单晶及抛光片 | 即将实施 | 2026-01-28 | 2026-08-01 |
| GB/T 29506-2013 | 300mm 硅单晶抛光片 | 现行 | 2013-05-09 | 2014-02-01 |