SiC MOSFET阈值电压测试方法

本文件描述了碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管（SiC MOSFET）阈值电压测试方法。 本文件适用于N沟道SiC MOSFET晶圆、芯片及封装产品的测试。

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