| GB/T 25755-2010 | 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量 | 现行 | 2010-12-23 | 2011-10-01 |
| GB/T 21271-2026 | 真空技术 真空泵噪声测量 | 即将实施 | 2026-01-28 | 2026-05-01 |
| T/GVS 014-2024 | 半导体设备用低温泵评价规范 | 现行 | 2024-08-02 | 2024-08-02 |
| T/GVS 010-2022 | 真空卷绕镀膜设备通用技术要求 | 现行 | 2022-09-23 | 2022-09-23 |
| T/GVS 005-2022 | 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范 | 现行 | 2022-03-28 | 2022-03-28 |
| T/CCGA 50008-2021 | 医用真空机组 | 现行 | 2021-09-28 | 2021-10-28 |
| T/ZZB 0310-2018 | 滑阀真空泵 | 现行 | 2018-02-01 | 2018-03-01 |
| JBT13677-2019 | 真空技术 金属粉末注射成型真空烧结炉 | 现行 | 2019-08-02 | 2020-04-01 |
| DB44/T 1997-2017 | 多功能档案真空杀虫机 | 废止 | 2017-05-10 | 2017-08-10 |
| GB/T 3164-1993 | 真空技术系统图用图形符号 | 废止 | 1993-12-27 | 1994-08-01 |
| GB/T 3163-1993 | 真空技术术语 | 废止 | 1993-12-27 | 1994-08-01 |
| GB/T 11164-1999 | 真空镀膜设备通用技术条件 | 废止 | 1999-04-08 | 1999-09-01 |
| GB/T 19956.2-2005 | 容积真空泵性能测量方法 第2部分：极限压力的测量 | 废止 | 2005-09-19 | 2006-04-01 |
| GB/T 19956.1-2005 | 容积真空泵性能测量方法 第1部分：体积流率（抽速）的测量 | 废止 | 2005-09-19 | 2006-04-01 |
| GB/T 3163-2007 | 真空技术 术语 | 废止 | 2007-12-20 | 2008-06-01 |
| GB/T 25753.2-2010 | 真空技术 罗茨真空泵性能测量方法 第2部分：零流量压缩比的测量 | 废止 | 2010-12-23 | 2011-10-01 |
| GB/T 25753.1-2010 | 真空技术 罗茨真空泵性能测量方法 第1部分：最大允许压差的测量 | 废止 | 2010-12-23 | 2011-10-01 |
| GB/T 25753.3-2011 | 真空技术 罗茨真空泵性能测量方法 第3部分：溢流阀压差的测量 | 废止 | 2011-11-21 | 2012-03-01 |
| GB/T 33633-2017 | 真空技术 容积真空泵 水蒸气容限的测量 | 废止 | 2017-05-12 | 2017-12-01 |
| T/ZZB 1790-2020 | 铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备 | 现行 | 2020-11-06 | 2020-11-30 |