| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/IAWBS 005-2018 | 6 英寸碳化硅单晶抛光片 | 现行 | 2018-12-06 | 2018-12-17 |
| T/CNIA 0022-2019 | 绿色设计产品评价技术规范 气相二氧化硅 | 现行 | 2019-02-13 | 2019-06-01 |
| T/CNIA 0021-2019 | 绿色设计产品评价技术规范 多晶硅 | 现行 | 2019-02-13 | 2019-06-01 |
| T/CNIA 0011-2019 | 气相沉积法碳化硅涂层 | 现行 | 2019-02-13 | 2019-06-01 |
| T/ZSA 72-2019 | 碳化硅单晶 | 现行 | 2019-12-31 | 2020-03-01 |
| T/CAEE 025-2020 | 充电桩材料选择标准 | 现行 | 2020-05-15 | 2020-08-15 |
| T/CAEE 021-2020 | 交流充电桩及其元器件检验标准 | 现行 | 2020-05-15 | 2020-08-15 |
| T/ICMTIA 5.3-2020 | 集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法 | 现行 | 2020-12-31 | 2021-03-01 |
| T/ICMTIA 5.2-2020 | 集成电路用ArF浸没式光刻胶 | 现行 | 2020-12-31 | 2021-03-01 |
| T/ICMTIA 5.1-2020 | 集成电路用 ArF 干式光刻胶 | 现行 | 2020-12-31 | 2021-03-01 |
| T/ICMTIA 4.2-2020 | 集成电路用氟化氩光刻胶单体 第2部分：固体甲基丙烯酸酯类 | 现行 | 2020-12-31 | 2021-03-01 |
| T/ICMTIA 4.1-2020 | 集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分：液体甲基丙烯酸酯类 | 现行 | 2020-12-31 | 2021-03-01 |
| T/JSAS 015-2021 | 单晶硅太阳能电池片 | 现行 | 2021-09-25 | 2021-09-25 |
| T/NXCL 004-2021 | 旋转硅靶材 | 现行 | 2021-11-11 | 2021-11-11 |
| T/NXCL 003-2021 | 平面硅锗靶材 | 现行 | 2021-11-11 | 2021-11-11 |
| T/CAS 304-2018 | 磁控溅射硅靶材及绑定靶材 | 现行 | 2018-05-29 | 2018-05-29 |
| YS/T 1829-2025 | 区熔用硅多晶材料 | 即将实施 | 2025-12-17 | 2026-07-01 |
| YS/T 1828-2025 | 半导体材料掺杂用扩散膜 | 即将实施 | 2025-12-17 | 2026-07-01 |
| YS/T 1825-2025 | 集成电路用四甲基硅烷 | 即将实施 | 2025-12-17 | 2026-07-01 |
| YS/T 1853-2026 | 流化床法颗粒硅用籽晶 | 即将实施 | 2026-04-15 | 2026-11-01 |