Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Wafer curvature and cantilever beam deflection test methods for determining residual stresses of MEMS films
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/SCGS 317002-2023 | 金属材料 残余应力场的测定 变形力法 | 现行 | 2023-12-23 | 2023-12-24 |
| T/CSTM 01021-2023 | 钢板残余应力磁各向异性检测方法 | 现行 | 2023-11-30 | 2024-02-29 |
| T/CSTM 00824-2023 | 承压设备残余应力测定 压入能量差法 | 现行 | 2023-11-30 | 2024-02-29 |
| T/CSAA 33-2024 | 激光超声残余应力调控方法 金属材料 | 现行 | 2024-09-26 | 2024-12-01 |
| T/CSTM 00440-2023 | CVD陶瓷涂层热膨胀系数和残余应力的测试方法 | 现行 | 2023-03-17 | 2023-06-17 |
| T/CNS 53-2021 | 反应堆压力容器顶盖贯穿件J坡口焊缝模拟件残余应力检测方法 | 现行 | 2021-07-26 | 2021-11-01 |
| T/CSTM 00347-2020 | 金属材料 盘/环形锻件残余应力测定 轮廓法 | 现行 | 2020-09-30 | 2020-12-30 |
| T/IAWBS 008-2019 | SiC晶片的残余应力检测方法 | 现行 | 2019-12-27 | 2019-12-31 |
| GB/T 31310-2014 | 金属材料 残余应力测定 钻孔应变法（外文版EN） | 现行 | 2018-02-06 | |
| GB/T 31218-2014 | 金属材料 残余应力测定 全释放应变法（外文版EN） | 现行 | 2018-02-06 | |
| GB/T 26078-2010 | 金属材料 焊接残余应力 爆炸处理法（外文版EN） | 现行 | 2018-02-06 | |
| GB/T 38811-2020 | 金属材料 残余应力 声束控制法（外文版EN） | 现行 | 2023-11-02 | |
| GB/T 33163-2016 | 金属材料 残余应力 超声冲击处理法（外文版EN） | 现行 | 2022-12-28 | |
| SL 499-2010 | 钻孔应变法测量残余应力的标准测试方法 | 现行 | 2010-08-20 | 2010-11-20 |
| YS/T 1634-2023 | 铝及铝合金产品残余应力评价方法 | 现行 | 2023-12-20 | 2024-07-01 |
| YS/T 1678-2023 | 铜及铜合金板带箔材 残余应力检验方法 蚀刻分条法 | 现行 | 2023-12-20 | 2024-07-01 |
| YS/T 1578-2022 | 铜及铜合金无缝管 残余应力测试方法 切割法 | 现行 | 2022-09-30 | 2023-04-01 |
| GB/T 38952-2020 | 无损检测 残余应力超声体波检测方法（外文版RU） | 废止 | 2024-12-31 |