Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Wafer curvature and cantilever beam deflection test methods for determining residual stresses of MEMS films
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 32073-2015 | 无损检测 残余应力超声临界折射纵波检测方法（外文版RU） | 废止 | 2024-12-31 | |
| GB/T 32073-2015 | 无损检测 残余应力超声临界折射纵波检测方法（外文版EN） | 废止 | 2023-11-02 | |
| GB/T 24179-2009 | 金属材料 残余应力测定 压痕应变法（外文版EN） | 废止 | 2018-02-06 | |
| SY/T 4083-2012 | 电热法消除管道焊接残余应力热处理工艺规范 | 废止 | 2012-08-23 | 2012-12-01 |
| JB/T 8888-1999 | 环芯法测量汽轮机、汽轮发电机转子锻件残余应力的试验方法 | 废止 | 1999-06-28 | 2000-01-01 |
| CB 3395-1992 | 残余应力测试方法 钻孔应变释放法 | 废止 | 1992-03-07 | 1992-10-01 |
| GB/T 24179-2009 | 金属材料 残余应力测定 压痕应变法 | 废止 | 2009-06-25 | 2010-04-01 |
| GB/T 26140-2010 | 无损检测 测量残余应力的中子衍射方法 | 废止 | 2011-01-14 | 2011-10-01 |
| GB/T 32073-2015 | 无损检测 残余应力超声临界折射纵波检测方法 | 废止 | 2015-10-09 | 2016-06-01 |
| GB/T 33210-2016 | 无损检测 残余应力的电磁检测方法 | 废止 | 2016-12-13 | 2017-04-01 |
| GB/T 38952-2020 | 无损检测 残余应力超声体波检测方法 | 废止 | 2020-06-02 | 2021-01-01 |
| GB/T 47988-2026 | 钢板残余应力磁各向异性检测方法 | 即将实施 | 2026-07-30 | 2027-02-01 |
| T/CISA 063-2020 | 金属材料 残余应力测定 轮廓法 | 现行 | 2020-11-23 | 2020-11-27 |
| T/ZSA 38-2020 | SiC晶片的残余应力检测方法 | 现行 | 2020-12-17 | 2020-12-18 |
| T/CSTM 00347-2020 | 金属材料 盘/环形锻件残余应力测定 轮廓法 | 现行 | 2020-09-30 | 2020-12-30 |
| T/IAWBS 008-2019 | SiC晶片的残余应力检测方法 | 现行 | 2019-12-27 | 2019-12-31 |
| CB/T 3395-2013 | 残余应力测试方法 钻孔应变释放法 | 现行 | 2013-12-31 | 2014-07-01 |
| YB/T 6164-2024 | 金属管 残余应力测定 环切开口位移法 | 现行 | 2024-03-29 | 2024-10-01 |