Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Wafer curvature and cantilever beam deflection test methods for determining residual stresses of MEMS films
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 10567.2-2007 | 铜及铜合金加工材残余应力检验方法 氨薰试验法 | 现行 | 2007-10-25 | 2008-04-01 |
| GB/T 26140-2023 | 无损检测 残余应力测量的中子衍射方法 | 现行 | 2023-05-23 | 2023-05-23 |
| GB/T 44536-2024 | CVD陶瓷涂层热膨胀系数和残余应力试验方法 | 现行 | 2024-09-29 | 2025-04-01 |
| GB/T 31218-2014 | 金属材料 残余应力测定 全释放应变法 | 现行 | 2014-09-30 | 2015-05-01 |
| GB/T 39635-2020 | 金属材料 仪器化压入法测定压痕拉伸性能和残余应力 | 现行 | 2020-12-14 | 2021-07-01 |
| SL 547-2011 | 水工金属结构残余应力测试方法 X射线衍射法 | 现行 | 2011-07-12 | 2011-10-12 |
| SL 565-2012 | 水工金属结构残余应力测试方法——磁弹法 | 现行 | 2012-09-10 | 2012-12-10 |
| JB/T 12615-2016 | 硬质合金刀具残余应力检测方法 | 现行 | 2016-01-15 | 2016-06-01 |
| GB/T 31310-2014 | 金属材料 残余应力测定 钻孔应变法 | 现行 | 2014-12-05 | 2015-09-01 |
| GB/T 32073.2-2025 | 无损检测 测量残余应力的超声检测方法 第2部分：体波法 | 现行 | 2025-12-31 | 2025-12-31 |
| GB/T 45597-2025 | 金属材料 残余应力测定 短波长X射线衍射法 | 现行 | 2025-04-25 | 2025-11-01 |
| GB/T 33210-2025 | 无损检测 基于逆磁致伸缩效应的残余应力检测方法 | 现行 | 2025-08-29 | 2025-08-29 |
| GB/T 24179-2023 | 金属材料 残余应力测定 压痕应变法 | 现行 | 2023-08-06 | 2024-03-01 |
| GB/T 33163-2016 | 金属材料 残余应力 超声冲击处理法 | 现行 | 2016-10-13 | 2017-09-01 |
| T/ZSA 38-2020 | SiC晶片的残余应力检测方法 | 现行 | 2020-12-17 | 2020-12-18 |
| T/CSTM 00687-2023 | 无损检测 轨道交通材料 机车车辆车轮残余应力电磁超声检测方法 | 现行 | 2023-12-22 | 2024-03-22 |
| T/ZSA 168-2023 | 金属材料 盘/环形锻件残余应力测定 轮廓法 | 现行 | 2023-11-10 | 2023-11-11 |
| T/CSTM 00825-2023 | 焊接残余应力有限元计算导则 | 现行 | 2023-11-17 | 2024-02-17 |