Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Wafer curvature and cantilever beam deflection test methods for determining residual stresses of MEMS films
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 44517-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 MEMS膜残余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法 | 现行 | 2024-09-29 | 2025-04-01 |
| GB/T 41853-2022 | 半导体器件 微机电器件 晶圆间键合强度测量 | 现行 | 2022-10-12 | 2022-10-12 |
| T/CIE 146-2022 | 微机电(MEMS)器件晶圆键合试验评价方法 | 现行 | 2022-12-31 | 2023-01-31 |
| GB/T 34900-2017 | 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-05-01 |
| GB/T 40121-2021 | 技术产品文件 产品残余应力符号表示法 | 现行 | 2021-05-21 | 2021-09-01 |
| T/SCGS 303001-2019 | 技术产品文件 产品残余应力图形符号表示法 | 现行 | 2019-08-07 | 2019-08-08 |
| T/SCGS 303001-2019 | 技术产品文件 产品残余应力图形符号表示法 | 现行 | 2019-08-07 | 2019-08-08 |
| T/SEPA 5-2022 | 局部放电EFPI光纤超声传感器探头MEMS制造技术 第2部分：残余应力测定与调控规程 | 现行 | 2022-12-01 | 2023-02-01 |
| DB43/T 2314-2022 | 特种设备焊接残余应力盲孔法测试方法 | 现行 | 2022-05-06 | 2022-08-06 |
| GB/T 10567.1-1997 | 铜及铜合金加工材残余应力检验方法 硝酸亚汞试验方法 | 现行 | 1997-12-22 | 1998-08-01 |
| SY/T 4083-2024 | 油气管道电热法消除焊接残余应力热处理工艺规范 | 现行 | 2024-12-25 | 2025-06-25 |
| GB/T 38811-2020 | 金属材料 残余应力 声束控制法 | 现行 | 2020-06-02 | 2021-01-01 |
| GB/T 43900-2024 | 钢产品无损检测 轴类构件扭转残余应力分布状态超声检测方法 | 现行 | 2024-04-25 | 2024-11-01 |
| GB/T 26078-2010 | 金属材料 焊接残余应力 爆炸处理法 | 现行 | 2011-01-10 | 2011-10-01 |
| GB/T 39520-2020 | 弹簧残余应力的X射线衍射测试方法 | 现行 | 2020-11-19 | 2021-06-01 |
| GB/T 45169-2025 | 增材制造 金属制件残余应力 声束控制法 | 现行 | 2025-01-24 | 2025-01-24 |
| JB/T 8888-2018 | 环芯法测量汽轮机、汽轮发电机转子锻件残余应力的试验方法 | 现行 | 2018-02-09 | 2018-10-01 |
| GB/T 32073.1-2025 | 无损检测 测量残余应力的超声检测方法 第1部分:临界折射纵波法 | 现行 | 2025-12-31 | 2025-12-31 |