Test method for measuring surface sodium,aluminum,potassium,and iron on silicon and epi substrates by secondary ion mass spectrometry
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/ICMTIA SM006-2021 | 集成电路线宽65nm-14nm逻辑工艺用300mm P/P-型硅外延片 | 现行 | 2021-05-31 | 2021-07-30 |
| T/ZJATA 0017-2023 | 制备碳化硅半导体材料用化学气相沉积法(CVD)外延设备 | 现行 | 2023-06-20 | 2023-07-20 |
| ZJM-002-3547-2023 | 高压MOSFET用200 mm硅外延片 | 现行 | 2023-11-07 | 2023-11-07 |
| SN/T 2288-2009 | 进出口化妆品中铍、镉、铊、铬、砷、碲、钕、铅的检测方法 电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2009-02-20 | 2009-09-01 |
| SN/T 0448-2011 | 进出口食品中砷、汞、铅、镉的检测方法 电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）法 | 现行 | 2011-02-25 | 2011-07-01 |
| GB/T 24580-2009 | 重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| T/CASAS 010-2019 | 氮化镓材料中痕量杂质浓度及分布的二次离子质谱检测方法 | 现行 | 2019-11-25 | 2019-11-25 |
| T/CASAS 009-2019 | 半绝缘碳化硅材料中痕量杂质浓度及分布的二次离子质谱检测方法 | 现行 | 2019-11-25 | 2019-11-25 |
| SN/T 2316-2009 | 进出口动物源性食品中阿散酸、硝苯砷酸、洛克沙砷残留量检测方法 液相色谱-电感耦合等离子体/质谱法 | 废止 | 2009-07-07 | 2010-01-16 |
| SN/T 3541-2013 | 出口食品中多种醚类除草剂残留量检测方法 气相色谱-负化学离子源-质谱法 | 废止 | 2013-03-01 | 2013-09-16 |
| T/CASAS 009-2019 | 半绝缘碳化硅材料中痕量杂质浓度及分布的二次离子质谱检测方法 | 现行 | 2019-11-25 | 2019-11-25 |
| T/CASAS 010-2019 | 氮化镓材料中痕量杂质浓度及分布的二次离子质谱检测方法 | 现行 | 2019-11-25 | 2019-11-25 |
| GB/T 34326-2017 | 表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法 | 废止 | 2017-09-29 | 2018-08-01 |
| GB/T 5551-2010 | 表面活性剂 分散剂中钙、镁离子总含量的测定方法 | 现行 | 2011-01-14 | 2011-12-01 |
| T/CNEA 249.9-2024 | 核工业用锆及锆合金化学分析方法 第9部分：表面氯含量的测定 离子选择电极法 | 现行 | 2024-12-04 | 2025-02-02 |
| T/CNEA 249.10-2024 | 核工业用锆及锆合金化学分析方法 第10部分：表面钙、镁、钠量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 | 现行 | 2024-12-04 | 2025-02-02 |
| GB/T 34326-2026 | 表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度的测量方法 | 即将实施 | 2026-01-28 | 2026-08-01 |
| GB/T 32650-2016 | 电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素 | 现行 | 2016-04-25 | 2016-11-01 |