NB/T 11223-2023预览图

NB/T 11223-2023 相似标准 第4页

更新时间 2026-10-24
标准号标准名称状态实施日期相似标准
GB/T 32815-2016硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范现行2017-03-01找相似
GB/T 32816-2016硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范现行2017-03-01找相似
GB/T 28277-2012硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法现行2012-12-01找相似
GB/T 42895-2023微机电系统(MEMS)技术硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法现行2023-12-01找相似
GB/T 28275-2012硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范现行2012-12-01找相似
GB/T 42896-2023微机电系统(MEMS)技术硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法现行2023-12-01找相似
T/CI 512-2024硅基厚金属膜电镀工艺技术规范现行2024-09-18——
T/GDEIIA 06-2023CF1101型硅基电容器技术规范现行2023-12-18——
T/COS 014-2023二氧化硅基气凝胶灭火剂现行2023-04-10——
T/HIS 002-2022硅基红外气体传感器现行2022-05-25——
T/FSI 051-20201,2-二(三氯硅基)乙烷现行2020-05-30——
GB/T 48046-2026熔模精密铸造硅基陶瓷型芯即将实施2027-02-01找相似
T/FSI 051-20201,2-二(三氯硅基)乙烷现行2020-05-30——
T/FSI 063-2021N-[3-(三甲氧基硅基)丙基]正丁胺现行2021-04-01——
T/SHFIA 000021-2021硅基防火保温板现行2021-05-30——
T/NXCL 007-2021硅基钡系微合金孕育剂现行2021-11-11——
SJ/T 12074-2025光通信用硅基光电子芯片晶圆级测试方法现行2026-07-01找相似
SJ/T 12075-2025硅基光电子工艺设计包通用要求现行2026-07-01找相似