Silicon-based MEMS fabrication technology - Measurement method of cutting and pull-press strength of micro bonding area
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 28277-2012 | 硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法 | 现行 | 2012-05-11 | 2012-12-01 |
| GB/T 10654-2001 | 高聚物多孔弹性材料 拉伸强度和拉断伸长率的测定 | 现行 | 2001-08-28 | 2002-05-01 |
| GB/T 20310-2006 | 玻璃纤维无捻粗纱 浸胶纱试样的制作和拉伸强度的测定 | 现行 | 2006-07-19 | 2006-12-01 |
| HG/T 3868-2008 | 硫化橡胶 高温拉伸强度和拉断伸长率的测定 | 现行 | 2008-02-01 | 2008-07-01 |
| HG/T 3849-2008 | 硬质橡胶 拉伸强度和拉断伸长率的测定 | 现行 | 2008-02-01 | 2008-07-01 |
| HG/T 2580-2022 | 橡胶或塑料涂覆织物 拉伸强度和拉断伸长率的测定 | 现行 | 2022-09-30 | 2023-04-01 |
| HG/T 2580-2008 | 橡胶或塑料涂覆织物 拉伸强度和拉断伸长率的测定 | 废止 | 2008-04-23 | 2008-10-01 |
| GB/T 42897-2023 | 微机电系统（MEMS）技术硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法 | 现行 | 2023-08-06 | 2023-12-01 |
| GB/T 42895-2023 | 微机电系统（MEMS）技术硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法 | 现行 | 2023-08-06 | 2023-12-01 |
| GB/T 28276-2012 | 硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范 | 现行 | 2012-05-11 | 2012-12-01 |
| GB/T 32814-2016 | 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范 | 现行 | 2016-08-29 | 2017-03-01 |
| GB/T 28274-2012 | 硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则 | 现行 | 2012-05-11 | 2012-12-01 |
| GB/T 32815-2016 | 硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范 | 现行 | 2016-08-29 | 2017-03-01 |
| GB/T 32816-2016 | 硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范 | 现行 | 2016-08-29 | 2017-03-01 |
| GB/T 28275-2012 | 硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范 | 现行 | 2012-05-11 | 2012-12-01 |
| DB5134/T 24-2022 | 凉山地区青贮玉米和拉巴豆间作栽培技术规程 | 废止 | 2022-04-18 | 2022-05-18 |
| GB/T 21653-2008 | 镍及镍合金线和拉制线坯 | 现行 | 2008-03-31 | 2008-09-01 |
| GB/T 21189-2007 | 塑料简支梁、悬臂梁和拉伸冲击试验用摆锤冲击试验机的检验 | 现行 | 2007-11-14 | 2008-05-01 |