掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则

Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysisof mask defect inspection systems

GB/T 17866-1999推荐性国家标准

现行

上传时间:2026-02-14
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GB/T 17866-1999 相似标准 第2页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 20441.8-2025电声学 测量传声器 第8部分:测定工作标准传声器自由场灵敏度的比较法现行2025-05-302025-05-30
GB/T 45578-2025无损检测 声发射检测 压电声发射传感器接收灵敏度谱的验证现行2025-03-282025-03-28
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GB/T 24143-2009橡胶与橡胶制品 试验方法灵敏度的确定现行2009-06-152010-02-01
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GB/T 42559-2023声学 干涉型光纤水听器相移灵敏度测量现行2023-05-232023-12-01
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JB/T 9478.8-1999光电池测量方法 光谱灵敏度废止1999-08-062000-01-01
JB/T 9478.5-1999光电池测量方法 积分灵敏度废止1999-08-062000-01-01
GB/T 13823.4-1992振动与冲击传感器的校准方法 磁灵敏度测试废止1992-11-051993-10-01
GB/T 19874-2005机械振动 机器不平衡敏感度和不平衡灵敏度废止2005-08-312006-04-01
T/QGCML 3929-2024高灵敏度白蚁监测信号触发装置现行2024-03-252024-04-10
GB/T 16880-1997光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则现行1997-06-201998-03-01
SJ/T 31080-2016光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法现行2016-01-152016-06-01