Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysisof mask defect inspection systems
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 16879-1997 | 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则 | 现行 | 1997-06-20 | 1998-03-01 |
| GB/T 16523-1996 | 圆形石英玻璃光掩模基板规范 | 现行 | 1996-09-09 | 1997-05-01 |
| GB/T 16524-1996 | 光掩模对准标记规范 | 现行 | 1996-09-09 | 1997-05-01 |
| GB/T 15871-1995 | 硬面光掩模基板 | 现行 | 1995-12-22 | 1996-08-01 |
| GB/T 15870-1995 | 硬面光掩模用铬薄膜 | 现行 | 1995-12-22 | 1996-08-01 |
| GB/T 34178-2017 | 光掩模石英玻璃基板 | 现行 | 2017-09-07 | 2018-08-01 |
| SJ/T 10274-1991 | 掩模对准曝光机测试方法 | 现行 | 1991-11-12 | 1992-01-01 |
| SJ/T 11516-2015 | 薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| SJ/T 11863-2022 | 单片超大尺寸掩模板装载盒规范 | 现行 | 2022-10-20 | 2023-01-01 |
| T/ZS 0344-2022 | 数字化无掩模激光直写光刻机 | 现行 | 2022-11-10 | 2022-11-17 |
| GB/T 13301-1991 | 金属材料电阻应变灵敏系数试验方法 | 现行 | 1991-12-13 | 1992-10-01 |
| GB/T 34140-2017 | 辐射防护仪器 用于放射性物质中子探测的高灵敏手持式仪器 | 现行 | 2017-07-31 | 2017-11-01 |
| GB/T 34142-2017 | 辐射防护仪器 用于放射性物质光子探测的高灵敏手持式仪器 | 现行 | 2017-07-31 | 2017-11-01 |
| GB/T 4079-2025 | 用于电离辐射探测器的放大器和电荷灵敏前置放大器的测试方法 | 现行 | 2025-10-05 | 2025-10-05 |
| GB/T 4079-1994 | 用于电离辐射探测器的放大器和电荷灵敏前置放大器的测试方法 | 废止 | 1994-12-22 | 1995-10-01 |
| FZ/T 50065-2025 | 化学纤维 导电长丝电阻拉伸灵敏系数试验方法 | 现行 | 2025-07-02 | 2026-02-01 |
| GB/T 45575-2025 | 工业产品表面缺陷自动检测系统技术要求 | 现行 | 2025-04-25 | 2025-11-01 |
| DB50/T 1807-2025 | 承压设备射线检测缺陷自动识别系统评价方法 | 现行 | 2025-03-24 | 2025-06-24 |