半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法

Test methods for measuring resistivity of semiconductor wafers or sheet resistance of semiconductor films with a noncontact eddy-current gauge

GB/T 6616-2009推荐性国家标准

废止

GB/T 6616-2009 相似标准 第6页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态实施日期相似标准
GB/T 19289-2019电工钢带(片)的电阻率、密度和叠装系数的测量方法现行2020-05-01找相似
GB/T 17949.1-2000接地系统的土壤电阻率、接地阻抗和地面电位测量导则 第1部分:常规测量现行2000-08-01找相似
GB/T 31838.7-2021固体绝缘材料 介电和电阻特性 第7部分:电阻特性(DC方法) 高温下测量体积电阻和体积电阻率现行2021-12-01找相似
GB/T 31838.5-2021固体绝缘材料 介电和电阻特性 第5部分:电阻特性(DC方法) 浸渍和涂层材料的体积电阻和体积电阻率现行2021-12-01找相似
GB/T 32993-2016碳纤维体积电阻率的测定现行2017-09-01找相似
GB/T 15738-2008导电和抗静电纤维增强塑料电阻率试验方法现行2009-04-01找相似
GB/T 37977.23-2019静电学 第2-3部分:防静电固体平面材料电阻和电阻率的测试方法现行2020-03-01找相似
SJ/T 10481-1994硅外延层电阻率的面接触三探针方法现行1994-10-01找相似
SJ/T 10314-1992直流四探针电阻率测试通用技术条件现行1992-12-01找相似
GB/T 11446.4-2013电子级水电阻率的测试方法现行2014-08-15找相似
JB/T 12254-2015微电机用电刷及触点电阻率试验方法现行2016-03-01找相似
GB/T 26074-2010锗单晶电阻率直流四探针测量方法现行2011-10-01找相似
GB/T 34520.6-2017连续碳化硅纤维测试方法 第6部分:电阻率现行2018-02-01找相似
GB/T 40007-2021纳米技术 纳米材料电阻率的接触式测量方法 通则现行2021-12-01找相似
GB/T 12968-1991纯金属电阻率与剩余电阻比涡流衰减测量方法现行1992-03-01找相似
GB/T 5167-2018烧结金属材料和硬质合金 电阻率的测定现行2019-06-01找相似
GB/T 351-2019金属材料 电阻率测量方法现行2020-02-01找相似
GB/T 1692-2008硫化橡胶 绝缘电阻率的测定现行2008-09-01找相似