硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法

Test method for measuring surface metal contamination on silicon wafers by total reflection X-Ray fluorescence spectroscopy

GB/T 24578-2015推荐性国家标准

废止

GB/T 24578-2015 相似标准 第2页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态实施日期相似标准
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GB/T 6621-2009硅片表面平整度测试方法现行2010-06-01找相似
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GB/T 29505-2013硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法现行2014-02-01找相似
GB/T 42789-2023硅片表面光泽度的测试方法现行2024-03-01找相似
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GB/T 42789-2023硅片表面光泽度的测试方法(外文版EN)现行——找相似
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GB/T 20506-2006铝及铝合金阳极氧化 阳极氧化膜表面反射特性的测定 遮光角度仪或角度仪法现行2007-02-01找相似
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GB/T 39370-2020皮革 物理和机械试验 表面反射性能的测定现行2021-06-01找相似
JC/T 1040-2020建筑外表面用热反射隔热涂料现行2021-04-01找相似
GB/T 26070-2010化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法现行2011-10-01找相似
T/CSTM 01194-2024聚对苯二甲酸乙二醇酯 表面氢元素含量测量方法反射电子能量损失谱现行2024-04-05——
T/CPIA 0036.1-2022光伏组件用定向反射光学薄膜 第1部分:用于涂锡焊带表面的薄膜现行2022-04-15——
JC/T 1040-2007建筑外表面用热反射隔热涂料废止2007-11-01找相似