Test method for measuring surface metal contamination on silicon wafers by total reflection X-Ray fluorescence spectroscopy
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| T/CSEE 0054-2017 | 煤灰沾污特性的测定及判别 烧结法 | 现行 | 2018-05-01 | —— |
| GB/T 6621-2009 | 硅片表面平整度测试方法 | 现行 | 2010-06-01 | 找相似 |
| GB/T 24577-2009 | 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物 | 现行 | 2010-06-01 | 找相似 |
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| GB/T 42789-2023 | 硅片表面光泽度的测试方法 | 现行 | 2024-03-01 | 找相似 |
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