| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| DB53/T 747-2016 | 多晶硅生产回收氢气中氯化氢含量的测定气相色谱法 | 废止 | 2016-06-01 | 相似 |
| T/CNIA 0016-2019 | 多晶硅用回收氢气中氯化氢、氮气、氧气、总碳含量的测定气相色谱法 | 现行 | 2019-06-01 | —— |
| DB15/T 1239-2017 | 多晶硅生产净化氢气用活性炭中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 | 废止 | 2017-12-10 | 相似 |
| T/CNIA 0060-2020 | 多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定气相色谱法 | 现行 | 2020-08-01 | —— |
| YS/T 1195-2017 | 多晶硅副产品 四氯化硅 | 现行 | 2018-01-01 | 相似 |
| AQ 3065-2025 | 多晶硅安全生产规范 | 现行 | 2026-11-01 | 相似 |
| JC/T 2349-2015 | 多晶硅生产用氮化硅陶瓷绝缘体 | 现行 | 2016-01-01 | 相似 |
| GB/T 18916.47-2020 | 取水定额 第47部分：多晶硅生产 | 现行 | 2020-10-01 | 相似 |
| DB 1502/T 026-2024 | 多晶硅生产企业能源管理规范 | 废止 | 2024-09-21 | 相似 |
| T/CCSAS 052-2025 | 三氯氢硅还原法多晶硅生产安全技术规范 | 现行 | 2025-03-03 | —— |
| GB 47499-2026 | 改良西门子法生产多晶硅安全规范 | 即将实施 | 2027-05-01 | 相似 |
| YS/T 1290-2018 | 多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定气相色谱法 | 现行 | 2019-04-01 | 相似 |
| DB53/T 618-2014 | 气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气 组分含量 | 废止 | 2014-12-01 | 相似 |
| DB 1502/T 027-2024 | 多晶硅生产单位产品能源消耗限额 | 废止 | 2024-09-21 | 相似 |
| DB15/T 1241-2017 | 硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的测定气相色谱法 | 废止 | 2017-12-10 | 相似 |
| T/CNIA 0014-2019 | 多晶硅生产用瓷环 | 现行 | 2019-06-01 | —— |
| T/CNIA 0013-2019 | 多晶硅生产用石墨制品 | 现行 | 2019-06-01 | —— |
| GB/T 33236-2016 | 多晶硅 痕量元素化学分析 辉光放电质谱法 | 现行 | 2017-11-01 | 相似 |