| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| SJ/T 11503-2015 | 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法 | 现行 | 2015-10-01 | 找相似 |
| SJ/T 11504-2015 | 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法 | 现行 | 2015-10-01 | 找相似 |
| GB/T 31351-2014 | 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法 | 废止 | 2015-09-01 | 找相似 |
| GB/T 20165-2012 | 稀土抛光粉 | 废止 | 2013-05-01 | 找相似 |
| SJ/T 11502-2015 | 碳化硅单晶抛光片规范 | 废止 | 2015-10-01 | 找相似 |
| HG/T 2571-1994 | 抛光膏 | 废止 | 1994-07-01 | 找相似 |
| SB/T 10022-1992 | 抛光糖果 | 废止 | 1993-07-01 | 找相似 |
| SB 10022-2001 | 抛光糖果 | 废止 | 2002-07-01 | 找相似 |
| GB/T 47902-2026 | 金刚石单晶抛光片 | 即将实施 | 2027-02-01 | 找相似 |
| GB/T 13843-1992 | 蓝宝石单晶抛光衬底片 | 废止 | 1993-08-01 | 找相似 |
| GB/T 12964-2003 | 硅单晶抛光片 | 废止 | 2004-01-01 | 找相似 |
| GB/T 19921-2005 | 硅抛光片表面颗粒测试方法 | 废止 | 2006-04-01 | 找相似 |
| GB/T 30656-2014 | 碳化硅单晶抛光片 | 废止 | 2015-09-01 | 找相似 |
| GB/T 34504-2017 | 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法 | 废止 | 2018-05-01 | 找相似 |
| DB12/T 101.253-2003 | 工业产品取水定额 砷化镓抛光片 [天津市] | 废止 | 2003-09-03 | 找相似 |
| DB44/T 1086-2012 | 蒸压陶瓷抛光潭砖 [广东省] | 废止 | 2012-03-31 | 找相似 |
| GB/T 47927-2026 | 半导体芯片化学机械抛光垫修整用金刚石盘 | 即将实施 | 2027-02-01 | 找相似 |
| T/SHXCL 0004-2021 | 无纺布/聚氨酯复合抛光垫 | 现行 | 2021-05-30 | —— |